Hitachi KM11 எண்ணெய் அழுத்த சென்சார் EX200-2-3-5 க்கு ஏற்றது
தயாரிப்பு அறிமுகம்
அழுத்தம் உணரியின் நான்கு அழுத்த தொழில்நுட்பங்கள்
1. கொள்ளளவு
கொள்ளளவு அழுத்த உணரிகள் பொதுவாக அதிக எண்ணிக்கையிலான OEM தொழில்முறை பயன்பாடுகளால் விரும்பப்படுகின்றன. இரண்டு மேற்பரப்புகளுக்கு இடையே கொள்ளளவு மாற்றங்களைக் கண்டறிவது இந்த உணரிகளுக்கு மிகக் குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் வெற்றிட அளவுகளை உணர உதவுகிறது. எங்கள் வழக்கமான சென்சார் உள்ளமைவில், ஒரு சிறிய வீடுகள் இரண்டு நெருக்கமான இடைவெளி, இணையான மற்றும் மின்சாரம் மூலம் தனிமைப்படுத்தப்பட்ட உலோகப் பரப்புகளைக் கொண்டிருக்கும், அவற்றில் ஒன்று அழுத்தத்தின் கீழ் சிறிது வளைக்கக்கூடிய உதரவிதானம் ஆகும். இந்த உறுதியான நிலையான மேற்பரப்புகள் (அல்லது தட்டுகள்) ஏற்றப்படுகின்றன, இதனால் சட்டசபையின் வளைவு அவற்றுக்கிடையேயான இடைவெளியை மாற்றுகிறது (உண்மையில் ஒரு மாறி மின்தேக்கியை உருவாக்குகிறது). இதன் விளைவாக ஏற்படும் மாற்றம் (அல்லது ASIC) உடன் உணர்திறன் நேரியல் ஒப்பீட்டு சுற்று மூலம் கண்டறியப்படுகிறது, இது ஒரு விகிதாசார உயர்-நிலை சமிக்ஞையை பெருக்கி வெளியிடுகிறது.
2.CVD வகை
இரசாயன நீராவி படிவு (அல்லது "CVD") உற்பத்தி முறையானது பாலிசிலிகான் அடுக்கை துருப்பிடிக்காத எஃகு உதரவிதானத்துடன் மூலக்கூறு மட்டத்தில் பிணைக்கிறது, இதனால் சிறந்த நீண்ட கால சறுக்கல் செயல்திறன் கொண்ட சென்சார் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. மிகவும் நியாயமான விலையில் சிறந்த செயல்திறன் கொண்ட பாலிசிலிகான் ஸ்ட்ரெய்ன் கேஜ் பாலங்களை உருவாக்க பொதுவான தொகுதி செயலாக்க குறைக்கடத்தி உற்பத்தி முறைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. CVD அமைப்பு சிறந்த செலவு செயல்திறன் மற்றும் OEM பயன்பாடுகளில் மிகவும் பிரபலமான சென்சார் ஆகும்.
3. படபடப்பு வகை
ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் டெபாசிஷன் (அல்லது "திரைப்படம்") அதிகபட்ச ஒருங்கிணைந்த நேர்கோட்டுத்தன்மை, ஹிஸ்டெரிசிஸ் மற்றும் ரிபீட்டிபிலிட்டி ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு சென்சார் உருவாக்க முடியும். துல்லியம் முழு அளவில் 0.08% ஆகவும், நீண்ட கால சறுக்கல் ஒவ்வொரு ஆண்டும் முழு அளவில் 0.06% ஆகவும் இருக்கும். முக்கிய கருவிகளின் அசாதாரண செயல்திறன்-எங்கள் ஸ்பட்டர்டு டின் ஃபிலிம் சென்சார் அழுத்தம் உணர்தல் துறையில் ஒரு பொக்கிஷம்.
4.MMS வகை
இந்த சென்சார்கள் அழுத்த மாற்றங்களைக் கண்டறிய மைக்ரோ-மெஷினேடு சிலிக்கான் (எம்எம்எஸ்) உதரவிதானத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன. சிலிக்கான் உதரவிதானம் நடுத்தரத்திலிருந்து எண்ணெய் நிரப்பப்பட்ட 316SS மூலம் தனிமைப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அவை செயல்முறை திரவ அழுத்தத்துடன் தொடரில் வினைபுரிகின்றன. எம்எம்எஸ் சென்சார் பொதுவான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது உயர் மின்னழுத்த எதிர்ப்பு, நல்ல நேரியல், சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி செயல்திறன் மற்றும் சிறிய சென்சார் தொகுப்பில் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை அடைய முடியும்.