Passat எரிபொருள் பொதுவான இரயில் அழுத்த சென்சார் 06E906051Kக்கு பொருந்தும்
தயாரிப்பு அறிமுகம்
1. அழுத்த உணரியை உருவாக்கும் முறை, பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்கியது:
ஒரு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறை வழங்குதல், இதில் முதல் இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கு, முதல் இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கு மற்றும் இரண்டாவது இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கு ஆகியவை குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறில் உருவாகின்றன.
முதல் இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கில் ஒரு குறைந்த மின்முனைத் தட்டு, கீழ் மின்முனைத் தகட்டின் அதே அடுக்கில் அமைந்துள்ள முதல் பரஸ்பர மின்முனையானது மற்றும் இடைவெளியில் உள்ளது.
இணைக்கும் அடுக்குகள்;
கீழ் துருவ தட்டுக்கு மேலே ஒரு தியாக அடுக்கை உருவாக்குதல்;
முதல் இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கு, முதல் ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் அடுக்கு மற்றும் பலி அடுக்கு ஆகியவற்றில் மேல் மின்முனைத் தகட்டை உருவாக்குதல்;
தியாக அடுக்கை உருவாக்கிய பிறகு மற்றும் மேல் தட்டு உருவாக்கும் முன், முதல் ஒன்றோடொன்று அடுக்கில்
ஒரு இணைப்பு பள்ளத்தை உருவாக்குதல் மற்றும் முதல் இணைப்பு அடுக்குடன் மின்சாரம் இணைக்க மேல் தட்டு மூலம் இணைப்பு பள்ளத்தை நிரப்புதல்; அல்லது,
மேல் மின்முனைத் தகட்டை உருவாக்கிய பிறகு, மேல் மின்முனைத் தகடு மற்றும் முதல் ஒன்றோடொன்று இணைப்பு அடுக்கில் இணைக்கும் பள்ளங்கள் உருவாகின்றன.
மேல் மின்முனை தட்டு மற்றும் இணைப்பு பள்ளத்தில் முதல் ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் அடுக்கு ஆகியவற்றை இணைக்கும் ஒரு கடத்தும் அடுக்கை உருவாக்குதல்;
மேல் தட்டு மற்றும் முதல் ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் அடுக்கை மின்சாரம் மூலம் இணைத்த பிறகு, ஒரு குழியை உருவாக்க பலி அடுக்கை அகற்றவும்.
2. உரிமைகோரல் 1 இன் படி அழுத்த உணரியை உருவாக்கும் முறை, இதில் முதல் அடுக்கில் உள்ளது
இன்டர்லேயர் மின்கடத்தா அடுக்கில் தியாக அடுக்கை உருவாக்கும் முறை பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது:
முதல் இடைநிலை மின்கடத்தா அடுக்கில் ஒரு தியாகப் பொருள் அடுக்கை வைப்பது;
தியாகப் பொருள் அடுக்கை வடிவமைத்து ஒரு தியாக அடுக்கை உருவாக்குதல்.
3. க்ளைம் 2 இன் படி பிரஷர் சென்சார் உருவாக்கும் முறை, இதில் போட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் வேலைப்பாடு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
தியாகப் பொருள் அடுக்கு பொறித்தல் செயல்முறை மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
4. க்ளைம் 3ன் படி பிரஷர் சென்சார் உருவாக்கும் முறை, இதில் தியாக அடுக்கு
பொருள் உருவமற்ற கார்பன் அல்லது ஜெர்மானியம் ஆகும்.
5. க்ளைம் 4 இன் படி பிரஷர் சென்சார் உருவாக்கும் முறை, இதில் தியாக அடுக்கு
பொருள் அமார்ஃபஸ் கார்பந்;
தியாகப் பொருள் அடுக்கை பொறிக்கும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் எட்ச்சிங் வாயுக்கள் O2, CO, N2 மற்றும் Ar;
தியாகப் பொருள் அடுக்கை பொறிக்கும் செயல்பாட்டில் உள்ள அளவுருக்கள்: O2 இன் ஓட்ட வரம்பு 18 SCCM ~ 22 SCCM, மற்றும் CO இன் ஓட்ட விகிதம் 10%.
ஓட்ட விகிதம் 90 SCCM முதல் 110 SCCM வரையிலும், N2 இன் ஓட்ட விகிதம் 90 SCCM முதல் 110 SCCM வரையிலும், மற்றும் Ar இன் ஓட்ட விகிதம் வரையிலும் இருக்கும்.
வரம்பு 90 SCCM ~ 110 SCCM, அழுத்தம் வரம்பு 90 mtor ~ 110 mtor, மற்றும் சார்பு சக்தி
540w~660w.