கார்ட்டர் அகழ்வாராய்ச்சிக்கான எஞ்சின் பிரஷர் சென்சார் 2CP3-68 1946725

அழுத்தம் சென்சார் தயாரிப்பதற்கான ஒரு முறை, பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது:

S1, ஒரு பின் மேற்பரப்பு மற்றும் ஒரு முன் மேற்பரப்புடன் ஒரு செதில் வழங்குகிறது;செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் ஒரு பைசோரெசிஸ்டிவ் ஸ்ட்ரிப் மற்றும் அதிக அளவு டோப் செய்யப்பட்ட தொடர்பு பகுதியை உருவாக்குதல்;செதில்களின் பின்புற மேற்பரப்பை பொறிப்பதன் மூலம் அழுத்த ஆழமான குழியை உருவாக்குதல்;

S2, செதில்களின் பின்புறத்தில் ஒரு ஆதரவு தாளை பிணைத்தல்;

S3, செதில் முன் பக்கத்தில் முன்னணி துளைகள் மற்றும் உலோக கம்பிகள் உற்பத்தி, மற்றும் ஒரு வீட்ஸ்டோன் பாலம் அமைக்க piezoresistive பட்டைகள் இணைக்கும்;

S4, செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் ஒரு செயலற்ற அடுக்கை டெபாசிட் செய்தல் மற்றும் உருவாக்குதல் மற்றும் மெட்டல் பேட் பகுதியை உருவாக்குவதற்கு செயலற்ற அடுக்கின் ஒரு பகுதியைத் திறப்பது.2. க்ளைம் 1 இன் படி பிரஷர் சென்சார் உற்பத்தி செய்யும் முறை, இதில் S1 குறிப்பாக பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது: S11: பின் மேற்பரப்பு மற்றும் முன் மேற்பரப்புடன் ஒரு செதில் வழங்குதல், மற்றும் செதில் மீது அழுத்த உணர்திறன் படத்தின் தடிமன் வரையறுத்தல்;S12: செதில்களின் முன் மேற்பரப்பில் அயனி பொருத்துதல் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பைசோரேசிஸ்டிவ் பட்டைகள் உயர்-வெப்பநிலை பரவல் செயல்முறையால் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் தொடர்பு பகுதிகள் அதிக அளவில் டோப் செய்யப்படுகின்றன;S13: செதில்களின் முன் மேற்பரப்பில் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்கை டெபாசிட் செய்தல் மற்றும் உருவாக்குதல்;S14: அழுத்த உணர்திறன் திரைப்படத்தை உருவாக்க செதில்களின் பின்புறத்தில் அழுத்த ஆழமான குழியை பொறித்தல் மற்றும் உருவாக்குதல்.3. க்ளைம் 1 இன் படி பிரஷர் சென்சார் உற்பத்தி செய்யும் முறை, இதில் செதில் SOI ஆகும்.

1962 இல், டஃப்டே மற்றும் பலர்.முதன்முறையாக பரவிய சிலிக்கான் பைசோரெசிஸ்டிவ் கீற்றுகள் மற்றும் சிலிக்கான் பட அமைப்புடன் கூடிய பைசோரெசிஸ்டிவ் பிரஷர் சென்சார் தயாரித்து, பைசோரெசிஸ்டிவ் பிரஷர் சென்சார் குறித்த ஆராய்ச்சியைத் தொடங்கினார்.1960 களின் பிற்பகுதியிலும் 1970 களின் முற்பகுதியிலும், சிலிக்கான் அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், அயன் பொருத்துதல் தொழில்நுட்பம் மற்றும் அனோடிக் பிணைப்பு தொழில்நுட்பம் ஆகிய மூன்று தொழில்நுட்பங்களின் தோற்றம், பிரஷர் சென்சாரில் பெரும் மாற்றங்களைக் கொண்டு வந்தது, இது பிரஷர் சென்சாரின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகித்தது. .1980 களில் இருந்து, அனிசோட்ரோபிக் எச்சிங், லித்தோகிராஃபி, டிஃப்யூஷன் டோப்பிங், அயன் இம்ப்லாண்டேஷன், பிணைப்பு மற்றும் பூச்சு போன்ற மைக்ரோமச்சினிங் தொழில்நுட்பத்தின் மேலும் வளர்ச்சியுடன், அழுத்த உணரியின் அளவு தொடர்ந்து குறைக்கப்பட்டு, உணர்திறன் மேம்படுத்தப்பட்டு, வெளியீடு அதிகமாக உள்ளது. செயல்திறன் சிறப்பாக உள்ளது.அதே நேரத்தில், புதிய மைக்ரோமச்சினிங் தொழில்நுட்பத்தின் மேம்பாடு மற்றும் பயன்பாடு பிரஷர் சென்சாரின் பிலிம் தடிமனைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துகிறது.