கார்ட்டர் அகழ்வாராய்ச்சிக்கு என்ஜின் பிரஷர் சென்சார் 2 சிபி 3-68 1946725

அழுத்தம் சென்சார் தயாரிப்பதற்கான ஒரு முறை, பின்வரும் படிகளைக் கொண்டிருப்பதன் மூலம் வகைப்படுத்தப்படுகிறது:

எஸ் 1, பின் மேற்பரப்பு மற்றும் முன் மேற்பரப்புடன் ஒரு செதுவை வழங்குதல்; ஒரு பைசோரிசிஸ்டிவ் துண்டு மற்றும் செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் பெரிதும் அளவிடப்பட்ட தொடர்பு பகுதியை உருவாக்குகிறது; செதிலின் பின்புற மேற்பரப்பை பொறிப்பதன் மூலம் ஒரு அழுத்த ஆழமான குழியை உருவாக்குகிறது;

எஸ் 2, செதிலின் பின்புறத்தில் ஒரு ஆதரவு தாளை பிணைத்தல்;

எஸ் 3, உற்பத்தி ஈய துளைகள் மற்றும் மெட்டல் கம்பிகள் செதிலின் முன் பக்கத்தில், மற்றும் பைசோரிசிஸ்டிவ் கீற்றுகளை இணைத்து கோதுமை கல் பாலத்தை உருவாக்குதல்;

எஸ் 4, செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் ஒரு செயலற்ற அடுக்கை டெபாசிட் செய்து உருவாக்குதல், மற்றும் ஒரு உலோக பேட் பகுதியை உருவாக்க செயலற்ற அடுக்கின் பகுதியைத் திறக்கிறது. 2. உரிமைகோரல் 1 இன் படி அழுத்தம் சென்சாரின் உற்பத்தி முறை, இதில் எஸ் 1 குறிப்பாக பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது: எஸ் 11: பின் மேற்பரப்பு மற்றும் முன் மேற்பரப்புடன் ஒரு செதுவை வழங்குதல், மற்றும் செதிலில் அழுத்தம் உணர்திறன் படத்தின் தடிமன் வரையறுத்தல்; எஸ் 12: செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் அயன் உள்வைப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது, பைசோரிசிஸ்டிவ் கீற்றுகள் உயர் வெப்பநிலை பரவல் செயல்முறையால் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் தொடர்பு பகுதிகள் பெரிதும் அளவிடப்படுகின்றன; S13: செதிலின் முன் மேற்பரப்பில் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்கை டெபாசிட் செய்து உருவாக்குதல்; S14: ஒரு அழுத்தம் உணர்திறன் படத்தை உருவாக்க செதிலின் பின்புறத்தில் ஒரு அழுத்தமான ஆழமான குழியை பொறித்தல் மற்றும் உருவாக்குதல். 3. உரிமைகோரல் 1 இன் படி அழுத்தம் சென்சாரின் உற்பத்தி முறை, இதில் செதில் SOI ஆகும்.

1962 இல், டஃப்டே மற்றும் பலர். பரவலான சிலிக்கான் பைசோரிசிஸ்டிவ் கீற்றுகள் மற்றும் சிலிக்கான் திரைப்பட கட்டமைப்பை முதன்முறையாக ஒரு பைசோரிசிஸ்டிவ் பிரஷர் சென்சார் தயாரித்தது, மேலும் பைசோரிசிஸ்டிவ் பிரஷர் சென்சார் குறித்த ஆராய்ச்சியைத் தொடங்கியது. 1960 களின் பிற்பகுதியிலும் 1970 களின் முற்பகுதியிலும், சிலிக்கான் அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், அயன் உள்வைப்பு தொழில்நுட்பம் மற்றும் அனோடிக் பிணைப்பு தொழில்நுட்பம் ஆகிய மூன்று தொழில்நுட்பங்களின் தோற்றம் அழுத்தம் சென்சாரில் பெரும் மாற்றங்களைக் கொண்டு வந்தது, இது அழுத்தம் சென்சாரின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகித்தது. 1980 களில் இருந்து, மைக்ரோமச்சினிங் தொழில்நுட்பத்தின் மேலும் வளர்ச்சியுடன், அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல், லித்தோகிராபி, பரவல் ஊக்கமருந்து, அயன் உள்வைப்பு, பிணைப்பு மற்றும் பூச்சு போன்ற, அழுத்தம் சென்சாரின் அளவு தொடர்ந்து குறைக்கப்பட்டுள்ளது, உணர்திறன் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் வெளியீடு அதிகமாக உள்ளது மற்றும் செயல்திறன் சிறந்தது. அதே நேரத்தில், புதிய மைக்ரோமச்சினிங் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியும் பயன்பாடும் அழுத்தம் சென்சாரின் பட தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன.